馬爾文帕納科亞太卓越應(yīng)用中心X'Pert³ MRD XL高分辨衍射儀參與此次檢測(cè)驗(yàn)證并與國(guó)內(nèi)知名檢測(cè)機(jī)構(gòu)聯(lián)合發(fā)布了檢測(cè)結(jié)果。

本次測(cè)試樣品為氧化鎵8英寸襯底，取點(diǎn)共計(jì)5個(gè)，XRD搖擺曲線半高寬測(cè)試結(jié)果：22~26 arcsec。

圖18英寸襯底XRD搖擺曲線半高寬第三方測(cè)試結(jié)果-（深圳平湖實(shí)驗(yàn)室）

本次測(cè)試樣品為氧化鎵8英寸襯底，取點(diǎn)共計(jì)5個(gè)，XRD搖擺曲線半高寬測(cè)試結(jié)果分別為：16.7 arcsec、16.2 arcsec、15.4 arcsec、15.3 arcsec、12.4 arcsec。

圖2 8英寸襯底XRD搖擺曲線半高寬第三方測(cè)試結(jié)果-（馬爾文帕納科亞太卓越應(yīng)用中心）

圖3 馬爾文帕納科X'Pert³ MRD XL高分辨X射線衍射儀

此次聯(lián)合發(fā)布的質(zhì)量檢測(cè)結(jié)果證明，鎵仁半導(dǎo)體8英寸晶圓襯底質(zhì)量能夠滿足硅基8英寸產(chǎn)線生產(chǎn)要求，這將大幅降低下游應(yīng)用端研發(fā)的難度與成本，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的快速落地。目前，鎵仁半導(dǎo)體氧化鎵襯底已逐步實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，將陸續(xù)為下游客戶提供大尺寸高質(zhì)量的氧化鎵單晶襯底產(chǎn)品。

作為襯底研發(fā)生產(chǎn)關(guān)鍵檢測(cè)設(shè)備之一的高分辨X射線衍射儀在半導(dǎo)體行業(yè)的成功案例遠(yuǎn)不止此，在中國(guó)12英寸SiC襯底的首發(fā)和后續(xù)生產(chǎn)商的工藝流程中，也同樣有X'Pert³ MRD高分辨衍射儀和Omega/Theta單晶定向儀的身影。

無(wú)論是用于生長(zhǎng)研究還是設(shè)備設(shè)計(jì)，馬爾文帕納科XRD技術(shù)對(duì)結(jié)構(gòu)層質(zhì)量、厚度、應(yīng)力和合金組分進(jìn)行測(cè)量的過(guò)程已成為電子和光電子多層半導(dǎo)體的研發(fā)核心所在。未來(lái)，馬爾文帕納科仍將在促進(jìn)新型半導(dǎo)體材料研發(fā)、提升行業(yè)生產(chǎn)效率、提高產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性、推動(dòng)工藝創(chuàng)新等方面，持續(xù)提供可靠的檢測(cè)技術(shù)，為推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)馬爾文帕納科的力量。